Таваққуф
Ба даст овардани фаҳмиш ва суръат бахшидан ба раванди рушд.
Advanced Energy таъминоти барқ ва ҳалли назоратро барои барномаҳои муҳими таҳшинсозии филми тунук ва геометрияҳои дастгоҳ таъмин мекунад.Барои ҳалли мушкилоти коркарди вафель, қарорҳои дақиқи табдили нерӯи мо ба шумо имкон медиҳанд, ки дақиқии барқ, дақиқ, суръат ва такроршавандагии равандро оптимизатсия кунед.
Мо доираи васеи басомадҳои РБ, системаҳои барқи доимӣ, сатҳҳои истеҳсоли қувваи барқ, технологияҳои мувофиқ ва ҳалли мониторинги ҳарорати нахи оптикиро пешниҳод менамоем, ки воқеан ба шумо имкон медиҳанд, ки плазмаи равандро беҳтар назорат кунед.Мо инчунин Fast DAQ™ ва маҷмӯи ба даст овардани маълумот ва дастрасии худро барои таъмини фаҳмиши раванд ва суръат бахшидан ба раванди рушд муттаҳид мекунем.
Дар бораи равандҳои истеҳсоли нимноқилҳои мо бештар маълумот гиред, то ҳалли мувофиқи эҳтиёҷоти шуморо пайдо кунед.
Даъвати шумо
Аз филмҳое, ки барои намунаи андозаҳои микросхемаҳои интегралӣ ба плёнкаҳои ноқилӣ ва изолятсионӣ (сохторҳои барқӣ), то плёнкаҳои металлӣ (пайвастшавӣ) истифода мешаванд, равандҳои ҷойгиркунии шумо назорати сатҳи атомиро талаб мекунанд - на танҳо барои ҳар як хусусият, балки дар тамоми вафли.
Ғайр аз худи сохтор, филмҳои гузоштаи шумо бояд сифати баланд бошанд.Онҳо бояд сохтори ғалладона, якрангӣ ва ғафсии мувофиқ дошта бошанд ва холӣ бошанд - ва ин ба ғайр аз таъмини фишорҳои механикии зарурӣ (фишор ва кашиш) ва хосиятҳои электрикӣ мебошад.
Мушкилот танҳо афзоиш меёбад.Барои ҳалли маҳдудиятҳои литография (гиреҳҳои зергурӯҳҳои 1X nm), усулҳои худҳамоҳангсозии намунаи дукарата ва чоргона раванди ҷойгиркунии шуморо барои тавлид ва дубора тавлид кардани намуна дар ҳар вафли талаб мекунанд.
Ҳалли мо
Ҳангоме ки шумо барномаҳои муҳимтарини ҷойгиркунӣ ва геометрияҳои дастгоҳро ҷойгир мекунед, ба шумо пешвои боэътимоди бозор лозим аст.
Интиқоли нерӯи RF ва технологияи мувофиқати баландсуръати Advanced Energy ба шумо имкон медиҳад, ки дақиқии нерӯ, дақиқ, суръат ва такроршавандагии равандро барои ҳама равандҳои пешрафтаи таҳшинсозии PECVD ва PEALD мутобиқ ва оптимизатсия кунед.
Технологияи генератори DC-и моро барои дақиқ танзим кардани аксуламали камон, дақиқии қувва, суръат ва такроршавандагии равандҳои PVD (пӯчонидани) ва ECD-и таҳшинсозии худ истифода баред.
Манфиатҳо
● Устувории мукаммали плазма ва такроршавандагии раванд ҳосилро зиёд мекунад
● Интиқоли дақиқи RF ва DC бо назорати пурраи рақамӣ ба беҳтар кардани самаранокии раванд кӯмак мекунад
● Вокуниши зуд ба тағирёбии плазма ва идоракунии камон
● Импульси бисёрсатҳи бо танзими басомади мутобиқшавӣ интихоби суръати etch-ро беҳтар мекунад
● Дастгирии глобалӣ барои таъмини ҳадди аксар вақти корӣ ва иҷрои маҳсулот дастрас аст