Мутобиқсозии силсилаи RMA
-
Мутобиқсозии силсилаи RMA
Он метавонад ба RLS силсилаи таъминоти қувваи барқ мутобиқ карда шавад ва ба таври васеъ дар etching плазма, рӯйпӯш, тоза кардани плазма, дегуминги плазма ва дигар равандҳо истифода мешавад.Вақте ки танҳо истифода мешавад, он метавонад дар якҷоягӣ бо дигар таъминоти барқи RF истифода шавад.