TPM5 Series Controller Power
-
TPM5 Series Controller Power
Назоратчии қувваи силсилаи TPM5 идеяи тарроҳии модулро қабул мекунад ва то 6 схемаро дар дохили он муттаҳид мекунад. Маҳсулот асосан дар печҳои диффузионӣ, PECVD, печҳои эпитаксия ва ғайра истифода мешаванд.